幾種高真空泵機組簡介
2018-10-01 02:55:14?????點擊：644
目前，高真空度越來越多地應用到一些精密分析儀器中，了解各類泵的性能特點及其形成真空度的原理，有助于幫助正確選型，合理組合，從而達到所需各種真空度要求。同時，在獲取真空度的過程中，設備的操作維護特別重要，必須嚴格按程序操作。下面介紹幾種真空泵機組。
（1）高真空泵機組。由主泵、前級泵、真空閥門、油捕集器、連接管路、復合真空計、機架及輔助設備（電控、液控）組成，用以獲得真空的主要設備，廣泛應用于電子、化學、冶金等工業領域。油擴散泵不能直接用于抽真空，須由機械泵等前一級泵將真空度提高以后，才能串接油擴散泵，最終達到的極限度。我所電鏡高真空度就是由此類機組組合而成的。其缺點是油易失效和污染。
（2）快速真空機組。該機組是以羅茨真空泵為主泵，以旋片泵為前級泵并配有電磁閥、管路等的真空獲得設備，有結構緊湊、操作方便、抽氣能力大、抽氣時間短等特點，廣泛應用于真空冶金、真空脫氣、真空鍍膜以及空間模擬、低密度風洞裝置中抽除非腐蝕性氣體。與油擴散泵機組相比，其真空度低，但在極短時間就能達到。若將機械泵、羅茨真空泵與油擴散泵進行三級組合，便能大大縮短獲取高真空度的時間的真空度。
（3）超高真空機組。機組由二級前級泵加上分子泵構成。各級泵匹配的原則主要是從最高一級往前推，根據所需真空度的容積、溫度、抽真空時間來確定分子泵的選型。由其排氣口選定進氣口，再確定前一級泵，以此類推。它是目前最先進的真空機組，具有獲取真空度高、速度快等特點，適用于各種氣體，無污染、耐腐蝕，廣泛應用于一些精密儀器中，我所進口儀器等離子質譜分析儀就裝有此真空裝置，是未來高真空獲得的最佳機組。
（1）高真空泵機組。由主泵、前級泵、真空閥門、油捕集器、連接管路、復合真空計、機架及輔助設備（電控、液控）組成，用以獲得真空的主要設備，廣泛應用于電子、化學、冶金等工業領域。油擴散泵不能直接用于抽真空，須由機械泵等前一級泵將真空度提高以后，才能串接油擴散泵，最終達到的極限度。我所電鏡高真空度就是由此類機組組合而成的。其缺點是油易失效和污染。
（2）快速真空機組。該機組是以羅茨真空泵為主泵，以旋片泵為前級泵并配有電磁閥、管路等的真空獲得設備，有結構緊湊、操作方便、抽氣能力大、抽氣時間短等特點，廣泛應用于真空冶金、真空脫氣、真空鍍膜以及空間模擬、低密度風洞裝置中抽除非腐蝕性氣體。與油擴散泵機組相比，其真空度低，但在極短時間就能達到。若將機械泵、羅茨真空泵與油擴散泵進行三級組合，便能大大縮短獲取高真空度的時間的真空度。
（3）超高真空機組。機組由二級前級泵加上分子泵構成。各級泵匹配的原則主要是從最高一級往前推，根據所需真空度的容積、溫度、抽真空時間來確定分子泵的選型。由其排氣口選定進氣口，再確定前一級泵，以此類推。它是目前最先進的真空機組，具有獲取真空度高、速度快等特點，適用于各種氣體，無污染、耐腐蝕，廣泛應用于一些精密儀器中，我所進口儀器等離子質譜分析儀就裝有此真空裝置，是未來高真空獲得的最佳機組。
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