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    真空泵機組的工作原理

    2018-11-13 00:03:45?????點擊:260
           目前各種真空泵機組的發展愈來愈受到真空應用場合的影響,一般傳統的真空泵機組系統已無法滿足清潔無油、耐腐蝕、抽可凝性蒸汽以及能在惡劣的工況下運行的需要,因此近幾年來干式真空泵發展很快,真空獲得產品出現了更新換代的局面。
           螺桿真空泵機組的工作原理:它是由一對同步齒輪帶動逆向旋轉的螺桿,在螺桿與螺桿之間、螺桿與泵腔之間均有一定的間隙,沒有任何金屬與金屬之間的接觸。于是螺桿在旋轉過程中就將被抽氣體從進氣口吸入并排出到排氣口。
           早期的螺桿真空泵是等螺距,為了降低能耗、降低泵腔內的溫度,最近又新開發了變螺距的螺桿真空泵。其中一種螺桿是由二段螺距大小不等的螺桿拼接而成,另外一種就是螺距連續變化的螺桿真空泵,螺桿由一個整體材料加工制作而成,各種不同的螺桿見圖1所示。
           由于它具有抽速范圍寬廣、結構簡單緊湊、泵腔內無摩擦元件、能耗低、無廢液排放以及運行成本低等一系列優點,因而在半導體、光伏產業、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域得到廣泛應用。
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